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製品事例
半導体装置用絶縁部品
材質
PTFE
業界
半導体
形状・用途
インシュレータ・小物
ワークサイズ
Φ4×0.4mm
寸法精度
0～0.01mm
こちらはPTFE（テフロン・フッ素樹脂）素材を使用した小型丸物インシュレータ（絶縁体）部品の加工事例です。材質には、最高峰の電気絶縁性を誇り、優れた耐熱性や耐薬品性、さらには自己潤滑性（低摩擦）を兼備したフッ素樹脂の代表格であるPTFEを採用しています。製品は半導体製造装置や工作機械といった精密機器の内部に組み込まれる極小の丸物形状パーツであり、高精度なNC旋盤を用いた削り出し加工によって、厳しい寸法管理のもと安定した加工品質を確立した仕様となっています。
本製品の製造における技術的難所は、小径の丸物部品特有のワーク保持（クランプ）や芯出しの難しさを克服し、加工中の振れや材料の変形を完全に抑制することでした。PTFEは優れた絶縁・摺動特性を持つ一方で、非常に軟質で弾性変形を起こしやすいため、通常の樹脂と同様の条件でチャッキングを行うとワークが容易に歪んでしまいます。さらに、微小な切削抵抗によっても刃先から材料が逃げてしまい、寸法公差や真円度が乱れるリスクがあります。この課題に対し、特殊なコレットチャックや専用の保持治具を適用してクランプ圧を緊密にコントロールするとともに、低抵抗なシャープエッジ工具の選定、および材料特性に極限まで同調させた回転数や送り速度の加工条件を設定することで、振れのない精密な仕上がりを実現いたしました。
半導体装置用スペーサーや各種絶縁部材の精密旋盤加工・寸法維持でお困りの際は、豊富な実績を持つ樹脂加工のパートナーとしてぜひご相談ください。
