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製品事例
半導体装置用軸受部品
PA （MCナイロン™、6ナイロン、66ナイロン）
半導体
その他
φ100×10mm
0～0.01mm
こちらはMCナイロン素材を使用し、マシニングセンターや旋盤による切削加工で製作した半導体関連設備用部品の加工事例です。材質には、6ナイロン（PA6）の特性をベースに分子量を高めることで、射出成形品や押出成形品を凌駕する極めて優れた物性を実現した「MCナイロン（モノマーキャストナイロン）」を採用しています。本製品は半導体製造ラインにおいて長時間の稼働や繰り返し動作を行うマンドレル受け、車輪、ローラー、軸受といった可動・摺動セクションを担う精密コンポーネントであり、材料が持つ高いポテンシャルを最大限に引き出す緻密な削り出し加工によって製作いたしました。
半導体関連設備における可動部・摺動部では、連続稼働に伴う「経年摩耗」をいかに抑制し、初期の寸法精度を長期にわたって維持できるかが装置全体の稼働率を左右する大きな課題となります。従来の金属部品では、装置の総重量増加や、相手材（接触する部品）を削ってしまう攻撃性の高さがネックとなるケースが多く、金属から樹脂への置き換えを検討する場面が少なくありません。MCナイロンは、金属に匹敵する優れた機械的強度や剛性を持ちながら、トップクラスの耐摩耗性と自己潤滑性を備えているため、金属代替として最適な材料です。一方で、ナイロン特有の性質として、加工時の切削熱による熱膨張や、空気中の水分を吸収することによる寸法変化（吸水膨張）を起こしやすいというデリケートな側面もあります。この技術的難所に対し、ヤマデンでは材料固有の熱挙動を計算に入れた最適なカッターパスと切削条件（回転数・送り速度）を設定し、加工応力による歪みを排除することで、可動部品として要求されるシビアな幾何公差とスムーズな摺動面を高い再現性で確立いたしました。
当社では、MCナイロンをはじめとする各種エンプラの材料特性を熟知し、可動・摺動部品の摩耗対策や金属代替のご提案に自信を持っています。半導体装置用ローラーや軸受部品の精度低下・早期摩耗でお困りの際は、頼れる樹脂加工のパートナーとしてぜひご相談ください。
